碳/碳复合坩埚由高强度碳纤维和增强碳基体组成的复合材料制成。使用的碳纤维具有低碱金属杂质含量、高强度和高弹性模量。它采用整体结构和近净成型的设计理念，通过制坯、致密化、净化、高温热处理和表面涂层处理工艺制造而成。用于制备单晶硅热场的零件必须经过提纯，保证金属杂质含量降低到100ppm以下，满足制备热场零件的要求。生产过程如图3所示。碳/碳坩埚的生产工艺及其自身特点如下:

(1)碳/碳复合材料坩埚采用整体设计理念，由碳纤维增强碳基体制成，强度高，结构简单，重量轻，操作方便；

(2)碳/碳复合材料制成的坩埚热膨胀系数小，抗热震性好，在快速加热和快速冷却的环境下使用不开裂，使用寿命长。  

(3)生产流程短，生产和使用能耗大幅降低，主要工序在密闭设备中进行，无有害气体排放，对环境无不利影响；

(4)采用成熟的3D编程技术，坩埚结构可设计性好，尺寸精度高，各种尺寸的坩埚质量稳定；